シリコン材料(装置用部品)

シリコン素材

近年、半導体製品の微細加工化に伴って、半導体製造装置に 使用される消耗部品の素材にシリコン材料が多く採用される様に なって参りました。
シリコン電極、シリコンリング、シリコンボート等に用いられるシリコン 材料をお客様のニーズに合わせて提供しております。

また最近は特にシリコンの素材からさまざまな形状への切り出し、小口径 加工など高精度な加工製品のニーズにも対応しております。


シリコン単結晶、多結晶素材を提供いたします。
切断、表面加工も可能です。