薄膜加工工場

米国加工工場(IMAT)

米国加工工場(IMAT)

熱酸化

熱酸化

自動化された酸化炉を用いてドライ及びウェットの双方の酸化プロセスを500Åから3μmの膜厚の範囲にわたり提供いたしております。
膜厚均一性は膜厚により異なりますがウエーハ内及びバッチ内約1%程度で、通常はご注文後、1週間から2週間で出荷いたしております。

銅メッキ

エバポレーター

200mm及び300mmウエーハの銅メッキサービスをおこなっております。
装置はノベラス、セツール、アプライドの選択が有ります。
メッキ膜厚は通常1.5μmですが、ご希望に依っては10μm可能です。 熱酸化、バリア/シードスパッタ、銅メッキまでの一連のご注文はほぼ4週間で出荷いたしております。

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薄膜加工工場

酸化膜剥離及び洗浄

酸化膜剥離及び洗浄

酸化膜剥離は社内設計による洗浄装置を用い、化学的エッチング後、水洗、マランゴニ型装置で乾燥致しております。
ウエーハ洗浄はメガソニックによるSC-1洗浄後、水洗、乾燥、ウエーハパーティクル検査の後出荷致しております。

メタル スパッタ(PVD)

スプッター1 スプッター2

メタルスパッタはMRC社製DCマグネトロンスパッタ装置を社内改良した装置を用い、直径50mmから300mmのウエーハに対し、+/-5%の膜厚均一性を達成致しております。
又多層成膜で各層間の接着が重要な場合は、真空を保ったまま多層成膜が可能なように改良されており、銅メッキの下地シード層とバリア層間の剥離の問題は全く有りません。
又CMPテスト用に銅メッキ付きウエーハの代替として1.5μmまでの銅スパッタ膜付きウエーハの供給もいたしております。
ご注文量によりますが1週間から3週間で出荷いたします。