シリコンウエハー(Silicon Wafer)

プライムウエハー、モニターウエハー、ダミーウエハー

LSI、ディスクリート、センサー、MEMS等の基板として使用されるシリコンウエハーをお客様のニーズに応じた仕様で御提供いたします。
研究、開発用シリコンウエハーも数多く用意致しておりますので特殊な仕様を御希望の場合もお問合せ下さい。

シリコンウエハー規格

下記仕様を参考にしながらお客様と相談の上決めさせて頂きます。

  プライムウエハー モニターウエハー ダミーウエハー
製法 CZ or FZ CZ or FZ CZ
N or P N or P N or P
ドープ剤 Phons, Sb, or Boron Phons, Sb, or Boron Phons, Sb, or Boron
結晶軸 <100> or <111> <100> or <111> <100> or <111>
比抵抗(Ωcm) 0.01~1,000Ωの任意の比抵抗値 0.01~1,000Ωの任意の比抵抗値 0.01~1,000Ωの任意の比抵抗値
直径(inch) 2"φ~12"φ 2"φ~12"φ 2"φ~12"φ
※厚み(μm) 280~775直径別 280~775直径別 280~775直径別
表面仕上 Polish Polish Polish
裏面仕上 Etch, Polish Etch, Polish Etch, Polish

※プライムウエハー、モニタウエハー、ダミーウエハーでは、それぞれ表面特性、バルク特性など異なります。